双工件台就不太容易了，据说asml研发的基于磁悬浮平面电机的双工件台产品，其掩模台的运动控制精度做到了2纳米，大大提升了芯片加工的精度和效率。

如此先进的双工件台，外国专家曾傲慢地说：“全世界没有第二家机构能做出来。”

然而仅仅过去五年不到，z国菁华大学的一个科研团队，研制的运动精度控制在2纳米左右的双工件台，成功通过了整机验收。